УДК 539.23

Получение тонких слоев, тонких пленок


  
код УДК описание примечания
539.231 механическим путем, например напылением
539.232 химическим путем, например оксидированием
539.233 путем поверхностного поглощения (адсорбции)
539.234 испарением и конденсацией