УДК 621.793.16

Нанесение покрытий и осаждение пленок путем химического восстановления из газовой фазы. Химическая металлизация


  
код УДК описание примечания
621.793.162 с помощью химических реакций. Эпитаксиальные пленки
621.793.164 путем термического разложения