УДК 621.793.16
Нанесение покрытий и осаждение пленок путем химического восстановления из газовой фазы. Химическая металлизация
код УДК
описание
примечания
621.793.162
с помощью химических реакций. Эпитаксиальные пленки
621.793.164
путем термического разложения