УДК 621.793.1

Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация


  
код УДК описание примечания
621.793.12

Исключен [1974]

см. 621.793.182

621.793.14 путем испарения в вакууме
621.793.16 Нанесение покрытий и осаждение пленок путем химического восстановления из газовой фазы. Химическая металлизация
621.793.18 Нанесение покрытий путем распыления вещества бомбардировкой ионами (при тлеющем разряде в газе)