УДК 539.23
Получение тонких слоев, тонких пленок
код УДК
описание
примечания
539.231
механическим путем, например напылением
539.232
химическим путем, например оксидированием
539.233
путем поверхностного поглощения (адсорбции)
539.234
испарением и конденсацией