Примечания
(1) К данному классу отнесены микроструктурные устройства или системы, включающие по крайней мере один существенный элемент или структуру, характеризующиеся очень малым размером, главным образом в интервале от 10-4 до 10-7 метра, т.е. их существенные размеры, по крайней мере в одном измерении, не могут быть полностью распознаны без использования оптического микроскопа. [7]
(2) В данном классе используемые выражения имеют следующие значения: [7]
- к "микроструктурным устройствам" отнесены: [7]
(i) микромеханические устройства с подвижными, гибкими или деформируемыми элементами и [7]
(ii) трехмерные структуры без подвижных, гибких или деформируемых элементов, имеющие микрообразования, предназначенные для выполнения существенной функции взаимодействия с окружающей средой, причем эта функция не является чисто электронной или химической, независимо от того, объединены ли эти структуры с микроэлектронными устройствами или образованы из специфических материалов; [7]
- к "микроструктурным системам" отнесены: [7]
(i) системы взаимодействия микроструктурных устройств и [7]
(ii) микроэлектромеханические или микрооптомеханические системы, которые объединяют на общей подложке специфические элементы микроструктурных устройств и электрических или оптических компонентов, например для управления микроструктурными устройствами , их контроля или сигнализации о функционировании. [7]
Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (пьезоэлектрические, электрострикционные или магнитострикционные приборы как таковые H 01L 41/00) [7]
Примечания
(1) Данный подкласс не включает: [7]
- чисто электрические или электронные устройства как таковые, которые классифицируются в разделе H, например в подклассе H 01L; [7]
- чисто оптические устройства как таковые, которые классифицируются в подклассах G 02B или G 02F; [7]
- по существу двухмерные структуры, например слоистые изделия, которые классифицируются в подклассе B 32B; [7]
- химические или биологические структуры как таковые, которые классифицируютмя в разделе C; [7]
- структуры атомарного масштаба, полученные манипулированием отдельными атомами или молекулами, которые классифицируются в группе B 82B 1/00. [7]
(2) Устройства или системы, которые классифицируются в данном подклассе, также должны быть проклассифицированы в соответствующих подклассах по их структурным или функциональным особенностям, если эти особенности представляют интерес. [7]
Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем (изготовление микрокапсул или микросферических газоконтейнеров B 01J 13/02; способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки пьезоэлектрических, электрострикционных или магнитострикционных элементов как таковые H 01L 41/22) [7]
Примечания
К данному подклассу не относятся: [7]
- способы или устройства для изготовления или обработки чисто электрических или электронных устройств, которые классифицируются в разделе H, например в группе H 01L 21/00; [7]
- способы или устройства, предназначенные для манипулирования отдельными атомами или молекулами, которые классифицируются в группе B 82B 3/00. [7]
