РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ
ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ РЕГИСТРАЦИЯ ПРОГРАММЫ ДЛЯ ЭВМ

Номер регистрации (свидетельства): 2016612143

Дата регистрации: 18.02.2016

Номер и дата поступления заявки: 2015662700 23.12.2015

Дата публикации: 20.03.2016
	
Авторы:
Агеев Олег Алексеевич,
Коломийцев Алексей Сергеевич,
Громов Александр Леонидович

Правообладатель:
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» (Южный федеральный университет)

Название программы для ЭВМ:
Расчет и визуализация двумерного профиля подложки при травлении методом ФИП

Реферат:
Программа предназначена для расчета и визуализации двумерного профиля подложки при травлении методом фокусированных ионных пучков (ФИП). Реализованная программой модель учитывает основные эффекты и процессы, возникающие при взаимодействии фокусированного ионного пучка с полупроводниковой подложкой, что позволяет определить параметры двумерного рельефа поверхности подложки после окончания процесса травления.

Тип реализующей ЭВМ: IBM PC -совмест. ПК

Язык программирования: С#

Вид и версия операционной системы: Windows XP/Vista/7/8/10

Объем программы для ЭВМ: 25,5 Кб