РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ
ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ
ГОСУДАРСТВЕННАЯ РЕГИСТРАЦИЯ ПРОГРАММЫ ДЛЯ ЭВМ

Номер регистрации (свидетельства): 2016612869

Дата регистрации: 11.03.2016

Номер и дата поступления заявки: 2016610135 11.01.2016

Дата публикации: 20.04.2016
	
Автор:
Семёнов Захар Владимирович

Правообладатель:
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ АВТОМАТИКИ И ЭЛЕКТРОМЕТРИИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК (ИАиЭ СО РАН)

Название программы для ЭВМ:
«Deposition Control Simulator: Программа моделирования работы системы контроля»

Реферат:
Программа предназначена для моделирования системы контроля напыления многослойных покрытий путём формирования спектров отражения многослойных покрытий с последующим решением обратной задачи нахождения толщин слоёв и погрешностей. Она позволяет: формировать спектры отражения или пропускания многослойных покрытий с учётом различных факторов: шумов чтения, зарядовой ёмкости детектора, погрешности калибровки фотодетектора по длинам волн, погрешности задания показателей преломления материалов и неоднородности внутри слоёв, диапазона длин волн, количество фотодиодов в спектрометре; многократно решать обратную задачу с нахождением погрешностей определения толщин через библиотеку OptiReOpt и строить зависимости итоговых погрешностей от различных факторов. Такой подход позволяет оперативно рассчитать ожидаемые погрешности определения толщин при реальном спектральном контроле напыления.

Тип реализующей ЭВМ: IBM PC-совмест. ПК

Язык программирования: С#

Вид и версия операционной системы: Windows XP/Vista/7/8/10

Объем программы для ЭВМ: 5 Мб