Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10002953 United States, Int. Cl.22 H01L 29/739, H01L 21/761, H01L 29/06, H01L 29/10, H01L 29/40, H01L 29/66, H01L 29/78, H02M 7/537. Semiconductor device and method of manufacturing the same : Appl. N 15/807978 : Filed 09.11.2017 : Pub. 19.06.2018 : / Nao Nagata ; Assignee Renesas Electronics Corp ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10002953/en?oq=US10002953.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).