Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10121773 United States, Int. Cl.22 H01L 29/40, H01L 23/538, H01L 25/18, H02M 3/158, H01L 23/00. Semiconductor apparatus : Appl. N 15/446012 : Filed 01.03.2017 : Pub. 06.11.2018 : / Hideo Ami ; Assignee Fuji Electric Co Ltd ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10121773/en?oq=US10121773.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).