Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10128200 United States, Int. Cl.22 H01L 23/495, H01L 21/48, H01L 21/56, H01L 21/78, H01L 23/00, H01L 23/31, H01L 23/544, H02M 7/5387, H02P 27/06. Semiconductor device : Appl. N 15/833289 : Filed 06.12.2017 : Pub. 13.11.2018 : / Kuniharu Muto, Ryo Kanda ; Assignee Renesas Electronics Corp ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10128200/en?oq=US10128200.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).