Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10345832 United States, Int. Cl.22 H02M 3/335, G05F 1/56, H02H 9/02. Insulation system and substrate processing apparatus : Appl. N 15/978725 : Filed 14.05.2018 : Pub. 09.07.2019 : / Phuc Hong Ninh, Tsutomu Makino ; Assignee Asm Ip Holding Bv ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10345832/en?oq=US10345832.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).