Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10528104 United States, Int. Cl.22 H01L 23/495, G06F 1/18, G06F 1/26, H01L 21/48, H01L 23/13, H01L 23/31, H01L 23/498, H02M 3/158. System and methods for substrates : Appl. N 16/240491 : Filed 04.01.2019 : Pub. 07.01.2020 : / Randolph Cruz ; Assignee Intersil Americas LLC ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10528104/en?oq=US10528104.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).