Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10620648 United States, Int. Cl.22 H02M 3/33, G05F 1/56, H02H 9/02, H02M 3/335. Substrate processing apparatus : Appl. N 16/420979 : Filed 23.05.2019 : Pub. 14.04.2020 : / Phuc Hong Ninh, Tsutomu Makino ; Assignee Asm Ip Holding Bv ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10620648/en?oq=US10620648.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).