Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10728997 United States, Int. Cl.22 H05H 1/24, H01L 31/107, H01L 41/107, H02M 7/48. Plasma generator : Appl. N 16/465191 : Filed 21.11.2017 : Pub. 28.07.2020 : / Takahiro Shiohara, Takeshi Kamono ; Assignee Tdk Corp ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10728997/en?oq=US10728997.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).