Библиографическая ссылка на патент
Pat. 10903311 United States, Int. Cl.22 H01L 27/06, H01L 29/06, H01L 29/10, H01L 29/423, H01L 29/78, H01L 29/86, H01L 29/861, H02M 3/158, H01L 27/092. Vertical semiconductor structure : Appl. N 16/197011 : Filed 20.11.2018 : Pub. 26.01.2021 : / Frederic Lanois, Alexei Ankoudinov, Vladimir Rodov ; Assignee Stmicroelectronics Tours Sas ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US10903311/en?oq=US10903311.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).