Библиографическая ссылка на патент

Pat. 11114278 United States, Int. Cl.22 H01J 37/32, H02M 7/5387. Power supply device for plasma, plasma device, and method for controlling power supply device for plasma : Appl. N 16/759549 : Filed 22.11.2017 : Pub. 07.09.2021 : / Shinji Takikawa ; Assignee Fuji Corp ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11114278/en?oq=US11114278.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).
Яндекс.Метрика