Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11175321 United States, Int. Cl.22 G01R 19/32, H01L 29/78, H02M 1/00, H02M 3/155. Semiconductor device : Appl. N 16/923662 : Filed 08.07.2020 : Pub. 16.11.2021 : / Takehiro Ueda ; Assignee Renesas Electronics Corp ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11175321/en?oq=US11175321.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).