Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11239226 United States, Int. Cl.22 H01L 29/73, H01L 27/01, H01L 27/06, H01L 49/02, H02M 3/158, H02M 7/5387. Semiconductor apparatus : Appl. N 16/883497 : Filed 26.05.2020 : Pub. 01.02.2022 : / Tomoyuki Ashimine, Hiroshi Nakagawa, Yasuhiro Murase ; Assignee Murata Manufacturing Co Ltd ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11239226/en?oq=US11239226.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).