Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11373988 United States, Int. Cl.22 H01L 23/48, H01L 23/538, H01L 25/18, H02M 7/00, H02M 7/537, H01L 23/373. Semiconductor device : Appl. N 16/882548 : Filed 25.05.2020 : Pub. 28.06.2022 : / Sayaka Yamamoto ; Assignee Fuji Electric Co Ltd ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11373988/en?oq=US11373988.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).