Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11430642 United States, Int. Cl.22 H01J 37/32, H02M 3/335, C23C 14/54, C23C 16/52, H02M 1/00, H02M 5/458, H02M 7/06, H02M 7/5387. Controlling multiple plasma processes : Appl. N 16/664174 : Filed 25.10.2019 : Pub. 30.08.2022 : / Jan Peter Engelstaedter, Krzysztof Ruda, Jakub Swiatnicki ; Assignee Trumpf Huettinger Sp Zoo ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11430642/en?oq=US11430642.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).