Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11469682 United States, Int. Cl.22 H02M 7/06, H01L 23/00, H01L 29/872. Semiconductor device : Appl. N 16/634195 : Filed 27.07.2018 : Pub. 11.10.2022 : / Yasuo Ohno, Hiroko Itoh ; Assignee Laser Systems Inc Usa ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11469682/en?oq=US11469682.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).