Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11495695 United States, Int. Cl.22 H01L 29/24, C23C 16/40, H01L 21/02, H01L 29/66, H01L 29/872, H02M 3/335. Semiconductor device : Appl. N 17/259630 : Filed 10.07.2019 : Pub. 08.11.2022 : / Masahiro Sugimoto, Isao Takahashi, Takashi Shinohe, Koji Amazutsumi ; Assignee Flosfia Inc ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11495695/en?oq=US11495695.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).