Библиографическая ссылка на патент
Pat. 11515292 United States, Int. Cl.22 H01L 25/07, H01L 23/00, H02M 7/537. Semiconductor device : Appl. N 17/004372 : Filed 27.08.2020 : Pub. 29.11.2022 : / Mitsuhiro Kakefu, Hiroaki Ichikawa ; Assignee Fuji Electric Co Ltd ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US11515292/en?oq=US11515292.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).