Библиографическая ссылка на патент
Pat. 9866143 United States, Int. Cl.22 H01L 27/02, H01L 29/10, H01L 29/16, H01L 29/417, H01L 29/43, H01L 29/45, H01L 29/78, H02M 7/44, H01L 29/423. Switching device : Appl. N 15/225877 : Filed 02.08.2016 : Pub. 09.01.2018 : / Yuki Nakano, Hiroyuki Sakairi ; Assignee Rohm Co Ltd ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US9866143/en?oq=US9866143.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).