Библиографическая ссылка на патент
Pat. 9966231 United States, Int. Cl.22 H01J 7/24, H01J 37/32, H01L 21/3065, H02M 1/14, H02M 3/335. Direct current pulsing plasma systems : Appl. N 15/368486 : Filed 02.12.2016 : Pub. 08.05.2018 : / Roderick W. Boswell, Richard Alan Gottscho ; Assignee Lam Research Corp ; NN p. : patents.google.com : URL: https://patents.google.com/patent/US9966231/en?oq=US9966231.html (дата обращения: ДД.ММ.ГГГГ).