Выращивание монокристаллов из твердого состояния или гелей [3]
|
C30B 1/00 | Выращивание монокристаллов непосредственно из твердого состояния (однонаправленное разделение эвтектик на составные части 3/00; под защитной жидкостью 27/00) [3] |
C30B 1/02 | | .термической обработкой, например отжигом деформаций ( 1/12 имеет преимущество) [3] |
C30B 1/04 | | ..изотермическая рекристаллизация [3] |
C30B 1/06 | | ..рекристаллизация с температурным градиентом [3] |
C30B 1/08 | | ...зонная рекристаллизация [3] |
C30B 1/10 | | .реакциями в твердом состоянии или многофазной диффузией [3] |
C30B 1/12 | | .обработкой давлением в процессе выращивания [3] |
|
C30B 3/00 | Однонаправленное разделение эвтектик на составные части [3] |
C30B 5/00 | Выращивание монокристаллов из гелей (под защитной жидкостью 27/00) [3] |
C30B 5/02 | | .с добавкой легирующего материала [3] |
|
|
Выращивание монокристаллов из жидкостей; однонаправленное отвердевание эвтектик [3]
|
C30B 7/00 | Выращивание монокристаллов из растворов с использованием растворителей, являющихся жидкими при обычной температуре, например из водных растворов (из расплавленных растворителей 9/00; обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте 11/00; под защитной жидкостью 27/00) [3] |
C30B 7/02 | | .выпариванием растворителя [3] |
C30B 7/04 | | ..с использованием водных растворителей [3] |
C30B 7/06 | | ..с использованием неводных растворителей [3] |
C30B 7/08 | | .охлаждением раствора [3] |
C30B 7/10 | | .применением давления, например гидротермическими способами [3] |
C30B 7/12 | | .электролизом [3] |
C30B 7/14 | | .с кристаллизующимся материалом, образуемым химическими реакциями в растворе [3] |
|
C30B 9/00 | Выращивание монокристаллов из расплавов с использованием расплавленных растворителей (обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте 11/00; зонной плавкой 13/00; вытягиванием кристаллов 15/00; на погруженном затравочном кристалле 17/00; жидкофазным выращиванием эпитаксиальных слоев 19/00; под защитной жидкостью 27/00) [3] |
C30B 9/02 | | .выпариванием расплавленного растворителя [3] |
C30B 9/04 | | .охлаждением раствора [3] |
C30B 9/06 | | ..с использованием в качестве растворителя компонента кристаллической композиции [3] |
C30B 9/08 | | ..с использованием прочих растворителей [3] |
C30B 9/10 | | ...металлические растворители [3] |
C30B 9/12 | | ...солевые растворители, например выращивание из флюсов [3] |
C30B 9/14 | | .электролизом [3] |
|
C30B 11/00 | Выращивание монокристаллов обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте, например по методу Бриджмена-Стокбаргера ( 13/00, 15/00, 17/00, 19/00 имеют преимущество; под защитной жидкостью 27/00) [3] |
C30B 11/02 | | .без использования растворителей ( 11/06 имеет преимущество) [3] |
C30B 11/04 | | .добавлением к расплаву кристаллизующегося материала или реагентов, образующих его непосредственно в процессе [3] |
C30B 11/06 | | ..добавлением по крайней мере одного, но не всех компонентов кристаллической композиции [3] |
C30B 11/08 | | ..добавлением всех компонентов кристаллической композиции в процессе кристаллизации [3] |
C30B 11/10 | | ...твердые или жидкие компоненты, например по методу Вернейля [3] |
C30B 11/12 | | ...парообразные компоненты, например выращивание в системе пар - жидкость - твердое вещество [3] |
C30B 11/14 | | .отличающееся затравочным кристаллом, например его кристаллографической ориентацией [3] |
|
C30B 13/00 | Выращивание монокристаллов зонной плавкой; очистка зонной плавкой ( 17/00 имеет преимущество; изменением поперечного сечения обрабатываемого твердого тела 15/00; под защитной жидкостью 27/00; для выращивания гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой 28/00; зонная очистка особых материалов классифицируется в соответствующих подклассах для материалов) [3,5] |
C30B 13/02 | | .зонная плавка с растворителем, например способом перемещающегося растворителя [3] |
C30B 13/04 | | .гомогенизация зонным выравниванием [3] |
C30B 13/06 | | .с расплавленной зоной, не занимающей поперечное сечение полностью [3] |
C30B 13/08 | | .добавлением к расплавленной зоне кристаллизующегося материала или реагентов, образующих его непосредственно в процессе [3] |
C30B 13/10 | | ..с добавлением легирующего материала [3] |
C30B 13/12 | | ...в газообразном или парообразном состоянии [3] |
C30B 13/14 | | .тигли или сосуды [3] |
C30B 13/16 | | .нагревание расплавленной зоны [3] |
C30B 13/18 | | ..нагревательным элементом, находящимся в контакте или погруженным в расплавленную зону [3] |
C30B 13/20 | | ..индукцией, например нагревательными элементами ( 13/18 имеет преимущество) [3] |
C30B 13/22 | | ..облучением или электрическим разрядом [3] |
C30B 13/24 | | ...с использованием электромагнитных волн [3] |
C30B 13/26 | | .перемешивание расплавленной зоны [3] |
C30B 13/28 | | .управление или регулирование [3] |
C30B 13/30 | | ..стабилизация или управление формой расплавленной зоны, например с помощью концентраторов, с помощью электромагнитных полей; регулирование сечения кристалла [3] |
C30B 13/32 | | .механизмы для перемещения загрузки или нагревателя [3] |
C30B 13/34 | | .отличающееся затравочным кристаллом, например его кристаллографической ориентацией [3] |
|
C30B 15/00 | Выращивание монокристаллов вытягиванием из расплава, например по методу Чохральского (под защитной жидкостью 27/00) [3] |
C30B 15/02 | | .добавлением к расплаву кристаллизующегося материала или реагентов, образующих его непосредственно в процессе [3] |
C30B 15/04 | | ..с добавлением легирующего материала, например для n-р переходов [3] |
C30B 15/06 | | .невертикальное вытягивание [3] |
C30B 15/08 | | .вытягивание вниз [3] |
C30B 15/10 | | .тигли или контейнеры для поддерживания расплава [3] |
C30B 15/12 | | ..методы двойного тигля [3] |
C30B 15/14 | | .нагревание расплава или кристаллизуемого материала [3] |
C30B 15/16 | | ..облучением или электрическим разрядом [3] |
C30B 15/18 | | ..с использованием прямого нагрева сопротивлением в дополнение к другим методам нагрева, например с использованием эффекта Пельтье [3] |
C30B 15/20 | | .управление или регулирование (управление или регулирование вообще G 05) [3] |
C30B 15/22 | | ..стабилизация или управление формой расплавленной зоны вблизи вытягиваемого кристалла; регулирование сечения кристалла [3] |
C30B 15/24 | | ...с использованием механических средств, например формонаправляющих приспособлений (формоизменяющие матрицы для выращивания из пленки кристаллов с определенными гранями 15/34) [3] |
C30B 15/26 | | ...с использованием телевизионных детекторов; с использованием фотодетекторов и(или) рентгеновских детекторов [3] |
C30B 15/28 | | ...с использованием изменения веса кристалла или расплава, например флотационными способами [3] |
C30B 15/30 | | .механизмы для вращения или передвижения расплава или кристалла (флотационные способы 15/28) [3] |
C30B 15/32 | | .держатели затравочных кристаллов, например зажимные патроны [3] |
C30B 15/34 | | .выращивание из пленки кристаллов с определенными гранями с использованием формоизменяющих матриц или щелей [3] |
C30B 15/36 | | .отличающееся затравочным кристаллом, например его кристаллографической ориентацией [3] |
|
C30B 17/00 | Выращивание монокристаллов на затравочном кристалле, остающемся в расплаве в процессе выращивания, например по методу Накена-Киропулоса ( 15/00 имеет преимущество) [3] |
C30B 19/00 | Жидкофазное выращивание эпитаксиальных слоев [3] |
C30B 19/02 | | .с использованием расплавленных растворителей, например флюсов [3] |
C30B 19/04 | | ..с растворителем, являющимся компонентом кристаллической композиции [3] |
C30B 19/06 | | .реакционные камеры; лодочки для поддерживания расплава; держатели подложек [3] |
C30B 19/08 | | .нагревание реакционной камеры или подложки [3] |
C30B 19/10 | | .управление или регулирование (управление или регулирование вообще G 05) [3] |
C30B 19/12 | | .характеризуемое подложкой [3] |
|
C30B 21/00 | Однонаправленное отвердевание эвтектик [3] |
C30B 21/02 | | .обычной отливкой или замораживанием при температурном градиенте [3] |
C30B 21/04 | | .зонной плавкой [3] |
C30B 21/06 | | .вытягиванием из расплава [3] |
|
|
Выращивание монокристаллов из паров [3]
|
C30B 23/00 | Выращивание монокристаллов конденсацией испаряемого или сублимируемого материала [3] |
C30B 23/02 | | .выращивание эпитаксиальных слоев [3] |
C30B 23/04 | | ..отложение образцов, например с использованием защитных слоев [3] |
C30B 23/06 | | ..нагревание камеры для осаждения, подложки или испаряемого материала [3] |
C30B 23/08 | | ..конденсацией ионизированных паров (разбрызгиванием продуктов реакции 25/06) [3] |
|
C30B 25/00 | Выращивание монокристаллов путем химических реакций реакционноспособных газов, например химическим осаждением из паровой фазы [3] |
C30B 25/02 | | .выращивание эпитаксиальных слоев [3] |
C30B 25/04 | | ..отложение образцов, например с использованием защитных слоев [3] |
C30B 25/06 | | ..разбрызгиванием продуктов реакции [3] |
C30B 25/08 | | ..реакционные камеры; выбор материалов для них [3] |
C30B 25/10 | | ..нагревание реакционной камеры или подложки [3] |
C30B 25/12 | | ..держатели или приемники подложек [3] |
C30B 25/14 | | ..средства для подачи или выпуска газов; изменение потока реакционноспособных газов [3] |
C30B 25/16 | | ..управление или регулирование (управление или регулирование вообще G 05) [3] |
C30B 25/18 | | ..характеризуемое подложкой [3] |
C30B 25/20 | | ...с подложкой из того же материала, что эпитаксиальный слой [3] |
C30B 25/22 | | ..способы получения "сэндвичевых" слоев [3] |
|
|
C30B 27/00 | Выращивание монокристаллов под защитной жидкостью [3] |
|
C30B 28/00 | Получение гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой [5] |
C30B 28/02 | | .непосредственно из твердого состояния [5] |
C30B 28/04 | | .из жидкостей [5] |
C30B 28/06 | | ..обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте [5] |
C30B 28/08 | | ..зонной плавкой [5] |
C30B 28/10 | | ..вытягиванием из расплава [5] |
C30B 28/12 | | .непосредственно из газообразного состояния [5] |
C30B 28/14 | | ..химической реакцией реакционноспособных газов [5] |
|
C30B 29/00 | Монокристаллы или гомогенный поликристаллический материал с определенной структурой, отличающиеся материалом или формой [3,5] |
| | Примечания (1) В группах C30B 29/02 - C30B 29/54 применяется правило последней подходящей рубрики, т.е. на каждом иерархическом уровне в случае отсутствия особого указания материал классифицируется по последней подходящей рубрике. [3]
(2) Следует обратить внимание на Примечание (3) после заголовка раздела C, это Примечание указывает, на какую версию периодической таблицы химических элементов ссылается МПК. В данной группе, используется периодическая система химических элементов, состоящая из 8 групп и обозначенная римскими цифрами в периодической таблице, приведенной соответственно в Примечании (3) после заголовка раздела C. [2010.01]
|
C30B 29/02 | | .элементы [3] |
C30B 29/04 | | ..алмаз [3] |
C30B 29/06 | | ..кремний [3] |
C30B 29/08 | | ..германий [3] |
C30B 29/10 | | .неорганические соединения или композиции [3] |
C30B 29/12 | | ..галогениды [3] |
C30B 29/14 | | ..фосфаты [3] |
C30B 29/16 | | ..оксиды [3] |
C30B 29/18 | | ...кварц [3] |
C30B 29/20 | | ...оксиды алюминия [3] |
C30B 29/22 | | ...сложные оксиды [3] |
C30B 29/24 | | ....с формулой AMeO3 , где A - редкоземельный металл, а Me - Fe, Ga, Sс, Cr, Co или Al, например ортоферриты [3] |
C30B 29/26 | | ....с формулой BMe2O4, где B - Mg, Ni, Co, Al, Zn или Cd, а Me - Fe, Ga, Sc, Cr, Co или Al [3] |
C30B 29/28 | | ....с формулой A3Me5O12, где A - редкоземельный металл, а Me - Fe, Ga, Sc, Cr, Co или Al, например гранаты [3] |
C30B 29/30 | | ....ниобаты; ванадаты; танталаты [3] |
C30B 29/32 | | ....титанаты; германаты; молибдаты; вольфраматы [3] |
C30B 29/34 | | ..силикаты [3] |
C30B 29/36 | | ..карбиды [3] |
C30B 29/38 | | ..нитриды [3] |
C30B 29/40 | | ..соединения типа AIIIBV [3] |
C30B 29/42 | | ...арсенид галлия [3] |
C30B 29/44 | | ...фосфид галлия [3] |
C30B 29/46 | | ..серо-, селен- или теллурсодержащие соединения [3] |
C30B 29/48 | | ...соединения типа AIIBVI [3] |
C30B 29/50 | | ....сульфид кадмия [3] |
C30B 29/52 | | ..сплавы [3] |
C30B 29/54 | | .органические соединения [3] |
C30B 29/56 | | ..тартраты [3] |
C30B 29/58 | | ..высокомолекулярные соединения [3] |
C30B 29/60 | | .отличающиеся формой [3] |
C30B 29/62 | | ..нитевидные кристаллы или иглы [3] |
C30B 29/64 | | ..плоские кристаллы, например пластины, ленты, диски [5] |
C30B 29/66 | | ..кристаллы сложной геометрической формы, например трубки, цилиндры [5] |
C30B 29/68 | | ..кристаллы со слоистой структурой, например "сверхструктурой" [5] |
|
C30B 30/00 | Производство монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой, отличающееся воздействием электрического или магнитного полей, волновой энергии или других специфических физических условий [5] |
Примечание При классифицировании в данной группе классифицирование также проводится в группах 1/00 - 28/00 в соответствии со способом роста кристалла. [5]
|
C30B 30/02 | | .с использованием электрических полей, например электролиза [5] |
C30B 30/04 | | .с использованием магнитных полей [5] |
C30B 30/06 | | .с использованием механических колебаний [5] |
C30B 30/08 | | .в условиях нулевой или пониженной гравитации [5] |
|
|
Последующая обработка монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой [3,5]
|
C30B 31/00 | Способы диффузии или легирования монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой; устройства для этих целей [3,5] |
C30B 31/02 | | .контактированием с диффузионным материалом в твердом состоянии [3] |
C30B 31/04 | | .контактированием с диффузионным материалом в жидком состоянии [3] |
C30B 31/06 | | .контактированием с диффузионным материалом в газообразном состоянии ( 31/18 имеет преимущество) [3] |
C30B 31/08 | | ..с диффузионным материалом, являющимся соединением элементов, способным к диффузии [3] |
C30B 31/10 | | ..реакционные камеры; выбор материала для них [3] |
C30B 31/12 | | ..нагревание реакционной камеры [3] |
C30B 31/14 | | ..держатели или приемники подложек [3] |
C30B 31/16 | | ..средства для подачи или выпуска газов; изменение потока газов [3] |
C30B 31/18 | | ..управление или регулирование [3] |
C30B 31/20 | | .легирование путем облучения электромагнитными волнами или облучения частицами [3] |
C30B 31/22 | | ..ионным внедрением [3] |
|
C30B 33/00 | Последующая обработка монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой ( 31/00 имеет преимущество) [3,5] |
|
|
C30B 35/00 | Устройства вообще, специально предназначенные для выращивания, получения или последующей обработки монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой [3,5] |